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真空窑炉设备中常用的真空泵

来源: | 作者:安徽富耐斯机电科技有限公司 | 发布时间: 2023-03-08 | 438 次浏览 | 分享到:

真空机械泵(Mechanical Vacuum Pump)是利用机械动力将气体排放至外部,从而形成真空的一种泵。它主要是由驱动装置、泵体、活塞等组成,其工作原理是通过不断的吸收和排放气体来降低被抽物质所在系统的压强,达到真空的效果。

真空机械泵通常包括如下几个部分:

1. 驱动装置:包括电机、带轮、联轴器等,是泵体工作的动力源。

2. 泵体:由叶轮、泵腔、进气口、出气口等组成,是真空泵的核心部件。

3. 活塞:和泵体内的叶轮配合工作,通过活塞向外排放气体,将压力从系统中降低,从而形成真空。

真空机械泵的主要特点有:

1. 抽气速度快:真空机械泵的抽气速度通常很快,可以快速将系统内的压强降低到需要的真空度。

2. 真空度高:真空机械泵能够达到比较高的真空度,通常可以达到10-2 ~ 10-3 Pa左右。

3. 维护成本低:真空机械泵结构简单,维护成本相对较低。

4. 噪音小:相比其他类型的泵,真空机械泵的噪音较小。

真空机械泵适用于各种真空设备中,如半导体制造、真空干燥、真空冷冻、真空蒸馏、真空热处理等。与此同时,真空机械泵还可以和其他类型的泵组合使用,以提高其抽气速度和真空度。

真空分子泵是一种用于实现高真空的泵,它采用无油抽程原理,通过气体分子间的碰撞和扩散来达到高效排放气体。它通常由压缩区、冷阱和分子板等组成。

压缩区位于真空分子泵的上部,内部装有旋转叶片和离心式离子发生器等部件,用于增加气体的动能。冷阱位于泵的中部,用于捕获气体中的水分和其他易凝结物质,防止其对下游设备产生影响。分子板位于泵的下部,由多孔金属板组成,可以过滤掉气体中的分子,使其得到充分扩散,最终被排放出去。

真空分子泵通常包括如下几个部分:

1. 压缩区:位于泵的上部,其内部附有旋转叶片和离心式离子发生器等。

2. 冷阱:位于泵的中部,用于捕获气体中的水分和其他易凝结的物质。

3. 分子板:位于泵的下部,由一系列多孔金属板组成,可以有效过滤掉气体中的分子,使其得到充分扩散,最终被排放出去。

真空分子泵的主要特点有:

1. 真空度高:真空分子泵能够达到极高的真空度,通常可达到10-9 ~ 10-11 Pa左右。

2. 抽气速度快:真空分子泵的抽气速度较快,通常高达几千升/秒。

3. 无油化设计:真空分子泵采用无油抽程,操作和维护相对简单,而且不会产生油蒸气和油污染。

4. 低噪音:真空分子泵工作噪音小,不会对环境和操作者产生干扰。

真空分子泵适用于各种需要超高真空的领域,如半导体制造、光学器件制造、石油化工等。与此同时,真空分子泵还可以和其他类型的泵组合使用,以提高其抽气速度和真空度。


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