真空管式炉（vacuum tube furnace）是一种高温、无氧、低压下的试验设备，通常用于加热处理金属、无机材料和其他复杂化合物。它由一个外形为圆柱型或方形的真空管组成，内部配有电阻丝和隔热材料，可以通过控制温度和真空度来对样品进行热处理、烧结和退火等工艺过程。
真空管式炉的特点：
1. 高温范围广：真空管式炉可以达到1500℃以上的高温，在加热样品时提供了充分的热量。
2. 优秀的真空性能：在加热过程中，真空管式炉可以提供高度的真空度，避免了水分、氧气等气体对样品的影响，使加热过程更加纯净。
3. 精密的温度控制系统：真空管式炉内部配有先进的温度控制系统，可精确控制样品的加热和降温过程，使得样品热处理更加精细和均匀。
4. 易于维护和清洁：真空管式炉的设计简单、易于操作和清洁，维护和保养比较容易。
真空管式炉主要适用于精密烧结、退火、热处理、晶体生长等领域。在电子材料研究、材料制备、实验室及生产线等领域有着广泛的应用。
真空机械泵（Mechanical Vacuum Pump）是利用机械动力将气体排放至外部，从而形成真空的一种泵。它主要是由驱动装置、泵体、活塞等组成，其工作原理是通过不断的吸收和排放气体来降低被抽物质所在系统的压强，达到真空的效果。
真空分子泵（Molecular Vacuum Pump）是一种能够实现超高真空的泵。它基于气体分子间的碰撞和扩散运动原理，通过低压力下的无油抽程，从而实现对气体的高效率排放。
