真空烧结炉顾名思义就是在真空环境下对原料进行加热烧结的炉子,常常被用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结等。氮气烧结炉小编今天来给大家介绍的内容是,真空烧结炉安全操作规程,希望能给大家提供帮助。
1.中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷0却水源——蓄水池之水须充满,水中不得有杂质。
2.开动水泵,使其中频电源,真空炉感应圈、炉体冷·却系统水循环正常,并调整水压控制在规定值。
3.检查真空泵电源系统,皮带盘皮带松紧,真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后,人工转动真空泵皮带盘,如无异常,可在关闭蝶阀的情况下,启动真空泵。
4.检查真空炉体内情况,要求真空炉体内一0级卫生,感应圈绝缘良好,密封真空胶带具有弹性,尺寸合格。
5.检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。
6.检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
7.检查石墨坩埚,装炉配件是否齐全。
8.在以上准备就绪后,接通电源,中频电源合闸,按中频启动规则,试启动变频,成功后停止变频,方可开炉。
9.真空炉体上盖的观察、测温孔,每次开炉均需清洁处理,以便观察和测温。
10.真空烧结炉装炉时应根据不同烧结产品,采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘,不得随意更改。