真空烧结炉顾名思义就是在真空环境下对原料进行加热烧结的炉子，常常被用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结等。氮气烧结炉小编今天来给大家介绍的内容是，真空烧结炉安全操作规程，希望能给大家提供帮助。
1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷0却水源——蓄水池之水须充满，水中不得有杂质。
2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷·却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。
3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。
4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一0级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。
5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。
6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。
8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。
9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。
10．真空烧结炉装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。
